Artinya: "Aku niat sholat sunnah tahajud dua rakaat (dengan menghadap kiblat) karena Allah Taala."
2. Takbiratul ihram dan dilanjut dengan membaca doa iftitah
3. Membaca surat Al Fatihah kemudian lanjutkan dengan membaca surat pendek Al-Qur'an
4. Rukuk
5. I'tidal
6. Sujud
7. Duduk di antara dua sujud
8. Sujud kedua
9. Bangkit dan berdiri mengulangi gerakan dari membaca Al Fatihah hingga sujud kedua
10. Duduk Tasyahud akhir
11. Salam

Doa Setelah Sholat Tahajud
Setelah selesai, lanjutkan dengan berdoa membaca doa setelah sholat tahajud di bawah ini.
"Allâhumma rabbanâ lakal hamdu. Anta qayyimus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu anta mâlikus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu anta nûrus samâwâti wal ardhi wa man fî hinna. Wa lakal hamdu antal haqq. Wa wa‘dukal haqq. Wa liqâ’uka haqq. Wa qauluka haqq.
Wal jannatu haqq. Wan nâru haqq. Wan nabiyyûna haqq. Wa Muhammadun shallallâhu alaihi wasallama haqq. Was sâ‘atu haqq. Allâhumma laka aslamtu. Wa bika âmantu. Wa ‘alaika tawakkaltu.